4294A（40Hz-110MHz）是业界广泛使用的高精度阻抗分析仪，特别适用于无源元件、材料和半导体器件的精密测量。以下为安泰测试科技整理的其说明指南，如需详细电子版可在网站搜索型号下载，如下载出现问题或需要技术支持可联系18682985902（同wx）。

一、核心特性速览

频率范围：40Hz - 110MHz（分辨率1mHz）

基本阻抗精度：±0.08%（典型值）

测试信号电平：5mV - 1Vrms，-50dBm - +10dBm

直流偏置：内部±40V/±100mA，外部±100V

关键功能：等效电路分析、元件损耗分析、频率/时间/偏置扫描

二、测试前准备：硬件连接标准化

1. 测试夹具选择表

2. 电缆连接标准流程

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正确连接顺序：

1. 关闭仪器和被测件电源

2. 将测试电缆连接到4294A的【Hp Hc Lp Lc】4个端口

   - Hp：高压电位端

   - Hc：高压电流端

   - Lp：低压电位端

   - Lc：低压电流端

3. 连接夹具到电缆（听到咔嗒声）

4. 开启仪器，预热30分钟

三、校准操作：精度保障三步法

第一步：开路/短路/负载校准（必须执行）

按【Calibration】> 【Calibration】进入校准菜单

选择【OPEN】> 连接开路器到夹具 > 按【Execute】

选择【SHORT】> 连接短路器 > 【Execute】

选择【LOAD】> 连接50Ω标准负载 > 【Execute】

按【Save Cal】保存为校准文件（如"Cal_2024_16047E"）

第二步：夹具补偿（端口延伸）

当夹具引入额外寄生参数时：

【Calibration】> 【Fixture Compensation】

选择补偿类型：

OPEN：补偿并联电容

SHORT：补偿串联电感

【Execute】执行补偿

验证补偿效果：测量已知标准件，误差应<1%

第三步：偏置补偿（直流偏置测量时）

连接直流偏置源（内部或外部）

【Calibration】> 【Bias Compensation】

按提示完成偏置零点和增益补偿

四、基本测量操作流程

场景1：电容器参数测量

设置测试条件：

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【Frequency】> 设1kHz（电解电容）或1MHz（MLCC）

【Level】> 设为0.5Vrms（小信号）

【Mode】> Cp-D（并联电容-损耗）

执行测量：

将电容放入16047E夹具

按【Single】单次测量或【Continuous】连续测量

读取：Cp（电容值）、D（损耗因子）、|Z|（阻抗幅值）

频率扫描观察SRF：

【Sweep】> 【Frequency Sweep】

Start=1kHz，Stop=110MHz，Points=401

观察Cp急剧下降点（自谐振频率）

场景2：电感器测量

设置：

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【Mode】> Lp-Q（并联电感-品质因数）

【Frequency】> 设在工作频率点

【Averaging】> 设16次平均（提高稳定性）

关键指标：

Ls/Lp：串联/并联电感量

Q值：品质因数（高频电感要求Q>30）

DCR：直流电阻（使用内部DCR测量功能）

场景3：材料介电常数测试（使用16451B夹具）

夹具准备：

空夹具校准（测量空气电容C0）

放入标准样品验证（如PTFE）

样品测量：

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1. 【Mode】> Cp-D

2. 放入待测材料样品

3. 设置频率扫描：100Hz - 1MHz

4. 按【Bias】加偏压（铁电材料需要）

5. 记录ε'（介电常数）和tanδ（损耗）

五、高级测量模式详解

1. 列表扫描（复杂条件测试）

用于模拟实际工作条件：

【Sweep】> 【List Sweep】

创建频率-偏置组合表：

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频率表：   偏置表：

1kHz       0V

10kHz      1V

100kHz     5V

1MHz       10V

【Save/Recall】保存列表文件

2. 等效电路分析（阻抗谱拟合）

测量阻抗频率特性

【Analysis】> 【Equivalent Circuit】

选择电路模型：

R || C（电容模型）

R-L-C串联（谐振电路）

R-CPE（材料常相位元件）

执行拟合，查看拟合优度（χ²应<0.01）

3. 直流偏置扫描（C-V特性）

【Sweep】> 【Bias Sweep】

设置：Start=-10V，Stop=+10V，Step=0.1V

固定测试频率（如1MHz）

获得C-V曲线（变容二极管、MOS电容）

六、参数设置优化技巧

提高测量精度

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测量场景        推荐设置

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小阻抗(<10Ω)   【Mode】= Rs-Xs，【Speed】= SLOW2

大阻抗(>1MΩ)   【Mode】= Rp-Xp，【Averaging】= ON

高频测量(>10MHz) 【Port Extension】= ON，使用SMA夹具

低损耗测量(D<0.001) 【Averaging】= 64次，环境温度稳定

减少测量误差

热电动势误差：

启用【Offset Compensate】

保持测试环境恒温

接触电阻误差：

使用开尔文连接

定期清洁测试触点

电缆效应误差：

使用原装测试电缆

电缆长度<1米（高频时）