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2025/04
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Keithley6517A系列高电阻/低电流静电计产品使用说明书-吉时利技术支持中心
Keithley吉时利6517A系列高电阻/低电流静电计是一款专为高精度、高灵敏度的高阻抗和低电流测量而设计的仪器。它具有极高的精度和灵敏度，适用于半导体测试、材料科学研究、静电防护分析等多种领域。该系列仪器采用先进的电子测量技术，能够稳定、准确地测量微弱电流和高电阻值。
一、主要特点
高精度和高灵敏度：Keithley 6517A具有极高的电流测量灵敏度（可达1×10-17A）和电阻测量能力（可达1017Ω），确保测量结果的准确性。
快速测量：提供高达125个读数/秒的读取速率，比同类型的静电计显著更快，适用于需要快速响应的测量应用。
宽测量范围：电流测量范围从1fA（飞安）到20mA，电压测量范围从10μV到200V，电阻测量范围从50Ω到10^16Ω，满足多种测量需求。
自动量程功能：在电流、电阻、电压和电荷测量的整个范围内提供自动量程功能，简化操作步骤。
多功能性：支持多种测量模式，如恒压、恒流和脉冲等，用户可以根据不同的实验需求选择相应的测量模式。
数据存储与传输：内部自带存储器，可将测量数据存储至本地，并支持通过IEEE-488.2接口和RS-232接口进行远程操作和数据传输。
二、操作指南
1. 开机与初始化
使用3端电源线连接仪器，并确保地线接地良好。
检查电源电压在仪器允许范围内，电压不稳时建议使用稳压器。
打开仪器电源开关，仪器将进行初始化并显示主菜单。
2. 参数设置
使用仪器面板上的旋钮和按键选择需要测量的参数，如电流、电压、电阻等。
根据测量需求选择合适的量程和测量模式。
3. 连接被测电路
使用合适的测试线将被测电路连接到仪器的输入端口。
注意连接的正确性，避免短路或接错线路。
4. 开始测量
确认连接无误后，按下测量键开始测量。
测量结果将在显示屏上显示，用户可以根据需要记录或保存数据。
5. 数据存储与传输
测量数据可存储在仪器的内部存储器中，方便后续查看和分析。
支持通过IEEE-488.2接口和RS-232接口将数据传输至计算机或其他控制设备。
三、维护与保养
定期校准：为了确保测量结果的准确性，建议定期对仪器进行校准。
清洁仪器：使用柔软的专用清洁布擦拭仪器表面，避免使用酒精等挥发性溶剂。
检查连接器：定期检查仪器的连接器和端口是否松动或损坏，如有需要及时更换。
存放环境：将仪器存放在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中，避免阳光直射和高温环境。
四、注意事项
静电防护：静电计作为一种高精度测量设备，对环境中的静电干扰较为敏感。因此，在使用过程中应确保设备接地良好，并尽量减少人员在地毯上行走或穿戴化纤衣物等产生静电的行为。
电源稳定：使用稳定的电源供电，避免电压波动对测量结果的影响。
操作规范：在操作过程中应遵循仪器的使用说明书和安全规范，避免不当操作导致仪器损坏或人员受伤。
五、技术规格
电流测量范围：1fA - 20mA
电压测量范围：10μV - 200V
电阻测量范围：50Ω - 10^16Ω
电流测量灵敏度：1×10^-17A
读数速率：125个读数/秒
输入阻抗：>2×10^14Ω
输入端压降：<20μV
噪声：<7.5×10^-16A
六、附件与选件
测试线：提供不同规格和长度的测试线，以满足不同的测试需求。
前置放大器：可选配前置放大器模块，进一步提高信号测量精度。
校准证书：提供仪器校准证书，确保测量结果的准确性。
软件工具：提供数据记录、分析和自动化测试软件工具，提高测试效率。
七、联系我们
如果您在使用过程中遇到任何问题或需要进一步的技术支持，请联系安泰吉时利技术支持中心18682985902（同微信）。
