穿越技术迷雾，指引测试之光
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2025/04
21
是德科技B1500A产品使用说明书-Keysight技术支持中心
Keysight 是德科技B1500A 是一款高性能半导体器件参数分析仪，专为半导体器件的全面电学表征设计。它支持电流-电压（IV）、电容-电压（CV）、脉冲 IV、超快速 IV 等多种测量模式，广泛应用于半导体研发、生产和可靠性测试领域。以下是安泰测试科技小编整理的其说明书，如需详细电子版可联系客服领取。
一、主要特点
模块化设计
主机提供 10 个插槽，支持多种测量模块（如 SMU、CVU、脉冲发生器等），可根据需求灵活配置。
支持多通道并行测试，提升测试效率。
高精度测量
电压分辨率：0.5 μV
电流分辨率：0.1 fA（需搭配高精度 SMU 模块）
支持 1 kHz 至 5 MHz 的多频率电容测量。
超快速测量能力
脉冲宽度：100 ns
采样率：5 ns
可捕获传统仪器无法测量的超快速瞬态现象。
直观操作界面
配备 15 英寸触摸屏，支持图形化操作。
内置 EasyEXPERT group+ 软件，提供 300 多种预置测试应用，简化测试流程。
自动化与扩展性
支持通过 GPIB、USB、LAN 接口实现远程控制。
可与探针台、分选机等设备集成，实现全自动化测试。
二、技术指标
参数 规格
电压测量范围 ±200 V
电流测量范围 0.1 fA 至 1 A（需根据模块选择）
电容测量范围 1 fF 至 10 μF
脉冲发生器 输出电压：±40 V；脉冲宽度：10 ns 至 100 μs
测量速度 最高 1000 点/秒（扫描模式下）
接口 GPIB、USB 2.0、LAN、触发 I/O
三、硬件安装
主机安装
将主机放置在平稳的工作台上，确保通风良好。
连接电源线并接地。
模块安装
打开主机前盖，将测量模块插入空闲插槽，并拧紧固定螺丝。
连接模块间的信号线缆（如需）。
外围设备连接
通过 GPIB、USB 或 LAN 接口连接计算机。
连接探针台、测试头等外围设备。
四、软件操作
EasyEXPERT group+ 软件启动
在计算机上启动 EasyEXPERT group+ 软件，选择 B1500A 主机进行连接。
测试流程
选择测试应用：从预置的 300 多种测试应用中选择（如 IV 特性测试、CV 测试、脉冲 IV 测试等）。
配置测试参数：设置电压/电流范围、扫描步长、脉冲宽度等参数。
执行测试：点击“开始”按钮，仪器自动执行测试并显示结果。
数据分析：软件提供图形化结果展示，支持数据导出和报告生成。
自定义测试
用户可通过软件编写自定义测试序列，满足特殊测试需求。
五、典型应用
半导体器件研发
用于 MOSFET、IGBT、二极管等器件的 IV、CV 特性测试。
超快速 IV 测试用于评估器件的开关特性和可靠性。
失效分析
通过脉冲 IV 测试检测器件的缺陷和退化机制。
工艺监控
在晶圆级测试中，用于监控工艺参数的变化。
六、维护与保养
定期校准
建议每 6 个月进行一次校准，确保测量精度。
清洁
定期清洁主机和模块表面，避免灰尘积累。
模块更换
更换模块时，需先关闭主机电源，并按照说明手册操作。
七、注意事项
安全操作
测试时需佩戴防静电手环，避免静电损坏器件。
高压测试时，确保测试区域无人员靠近。
环境要求
工作温度：15°C 至 35°C
相对湿度：20% 至 80%（非凝结）
模块兼容性
不同模块的电压/电流范围不同，需根据测试需求选择合适的模块。
八、常见问题解答
Q：如何选择合适的测量模块？
A：根据测试需求选择，例如：
高精度 IV 测试：选择 HPSMU（高功率源测量单元）。
超快速 IV 测试：选择 MCSMU（中等电流源测量单元）或专用脉冲模块。
Q：如何实现多通道并行测试？
A：在主机中插入多个 SMU 模块，并在软件中配置多通道测试序列。
Q：测试结果异常怎么办？
A：检查以下项目：
测试夹具和探针是否接触良好。
模块是否过热（长时间测试后需冷却）。
软件参数设置是否正确。
